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等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD

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設(shè)備名稱(chēng) :等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD 
品牌型號(hào): SAMCO PD-220NL 

設(shè)備用途
主要用于二氧化硅和氮化硅介質(zhì)膜沉積

主要技術(shù)指標(biāo):
氣體:SIH4 CF4 PN2 NH3 N20 O2
沉積速率:> 30nm/min
均勻性:片內(nèi)小于±5%,片間小于±5%,批次小于±5%

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