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臺(tái)階儀

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設(shè)備名稱 臺(tái)階儀 品牌型號(hào) VEECO dektak 150

設(shè)備用途
測(cè)量臺(tái)階高度 凹槽深度等
 
主要技術(shù)指標(biāo):
樣片尺寸:≤6inch
樣品最大厚度: 50mm
最大掃描長度: 1000um
垂直方向分辨率:1 ? 
樣品臺(tái)移動(dòng)范圍:100*100mm   360°

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